【生产过程】sk海力士：开始量产采用极紫外光刻技术的第四代10纳米级dram产品

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    sk海力士：开始量产采用极紫外光刻技术的第四代10纳米级dram产品

据悉，半导体业界对于10纳米级的dram产品，每一代都以字母标记简称，第一至第四代分别为“1x”、“1y”、“1z”和“1a”。sk海力士表示，曾在lydram的生产过程中引进了部分euv设备，并确认了其稳定性。

利用euv技术有助于降低成本、提高收益，与第三代产品相比，1adram从同样大小的晶片中获得的dram完成品数量将增加约25%。sk海力士计划在今后所有1adram生产过程中均使用euv技术。

此外，sk海力士今年2月曾与世界唯一生产euv设备的荷兰半导体设备企业asml签订了为期5年的设备采购合同，签约规模达47549亿韩元。

据悉，按每台euv设备均价2000亿韩元测算，sk海力士5年内将购入超过20台的euv设备。

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